一.单向流洁净室风量测定

       垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室的风量采用断面平均风速和断面积乘积计算，断面选择和断面测点布置。

       二.非单向流洁净室风量测定

       风管法和风口法可用于测量非单向流洁净室的风量。

       1.风管法测量风量

       风管测量管测量段应选择气流相对均匀稳定的地方，并与局部阻力的距离。在局部阻力之前，测量段的风管直径长度不应小于3倍，在局部阻力之后，测量段的长边长度不应小于5倍。

       对于矩形风管，测面分为几个相等的小截面，尽可能接近方形，边长不得超过200mm。

       测量点在小截面的中xin。整个测量段的测点数不少于3个。

       对于圆形风管，将测量截面分为几个面积相等的同心环，每个环上有四个测点，四个测点应在两个垂直直径上。

       2.风口法测量风量

       施工验收规范JGJ71中规定了两种方法：

       首先，对于带过滤器的风口，可以根据风口的形式选择与风口截面相同的辅助风管。其长度是风口边长的两倍，连接到被测风口的外部。辅助风管出口表面至少设置6个测点，用热球风速计测量点风速，然后用断面平均风速乘以风口净面积计算风量。

       其次，对于类似扩散板的风口，可以根据扩散板的风阻曲线和实测扩散板的阻力来查明风口的风量。

电子制造业万级无尘车间的洁净度等级要求高，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内易产生静电，造成CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间，这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间都是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分，由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。今天就随康德莱净化工程公司一起来了解下吧! 电子制造业万级无尘车间的洁净度等级要求高，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内易产生静电，造成CMOS集成损坏。

1、万级芯片无尘车间参数要求换气次数：100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次;100≥500次; 　　2、压差：主车间对相邻房间≥5Pa; 　　3、平均风速：10级、100级0.3-0.5m/s; 　　4、温度：冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃; 　　5、湿度：45-65%;GMP车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。 　　6、噪声：≤65dB(A); 　　7、照度：300LX; 　　8、新风补充量是总送风量的10%-30%。 　　万级净化主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气，将室内的污染逐渐排出，来实现洁净效果。室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，不同等级的净化车间，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现。

       为了统一我国洁净室的设计标准，更好动正在兴起的百级建设的健康发展，在1978年由 建委立项编写 标准《洁净厂房设计规范》、确定并成立了由中国电子工程设计院(当时的电子工业部第十设计研究院)为主编单位的“规范编写组”。

       净化工程单位关于各种气流的特点、创造的洁净度、应用范围

       单向流气流的净化原理是活寒和挤压原理，把灰尘从一端向另一端挤压出去，用洁净气流置换污染气流。包括有垂直单向流和水平单向流。

       垂直单向流是气流以一定的速度(0.25m/s-0.5m/s)从顶棚流向地坪的气流流型。这种气流能创!造100级、10级、1级或更高洁净级别。但其初投资很高、运行费很高，净化工程单位在工程中尽量将其面积压缩到较小，用到bi须用的部位。

       水平单向流是气流以一定的速度(0.3m/s-0.5m/s)从一面墙流向对面的墙的气流流型。该气流可创造100级的净化级别。其初投资和运行费低于垂直单向流流型。

非单向流气流的净化原理是稀释原理。一般型式为髙效过滤器送风口顶部送风：回风的型式,有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数，实现不同的净化级别，其初投资和运行费用也不同。

       混合流气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。这种气流的特,点是将垂直单向流面积压缩到较小，用大面积非单向流替代大面积单向流以利节省初投资和运行费。